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1、洁净室是指空气悬浮粒子浓度和含菌浓度受到控制,达到一定要求或标准的房间(限定的空间)房间的建造和使用方式要尽可能减少引入、产生和滞留粒子(包括尘粒与菌粒)等,房间内的其它相关参数,比如:温度、压力和相对应的湿度要按要求进行控制。
2、洁净室的作用在于控制产品所接触的大气的洁净度与温度、湿度,使产品能在一个良好的环境中生产,确保产品的质量达到要求。
3、 空气悬浮粒子是指尺寸在0.1-5um的固体和液体粒子,有的有生命(比如细菌、病毒等),有的无生命(比如尘粒),它用于空气洁净度的分级。
4、 为了更有效地达到规定洁净度级别,控制微粒的污染,使人们在洁净室中从事生产和科学实验活动,洁净室绝不是仅仅限于“洁净”,而必须是一个对冷热、噪音、照度、静电等都有相当要求的多功能综合体,是集建筑装饰、空调净化、无尘车间、净化车间、电气控制等等多种专业技术于一体的综合产物。
5、洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间定义:洁净室是指在一定范围内将空气中微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速、静电等控制在某一需求范围内。
6、而给予特别设计的房间。
7、应用:电子信息、半导体、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷漆等。
8、洁净室的结构材料:洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。
9、门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
10、2、地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
11、3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
12、洁净室的构成:天花板净化和空调系统(含风淋室)隔墙板(含设备门、传递窗)防静电地板照明灯及其他洁净室的净化原理:气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃粒子(细菌)→回风夹道→新风、初效空气处理。
13、重复以上过程,即可达到净化目的。
14、洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。
15、它是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。
16、在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
17、 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
18、亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
19、洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
20、按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
21、也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
22、当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
23、每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
24、目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
25、5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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