拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”，专利申请号为CN202322861841.9，授权日为2024年8月23日。专利摘要：本实用新型公开了一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置。显示系统包括：支撑结构，设置于盖板的上方，包括若干个图像采集装置，其中，所述图像采集装置经由所述盖板上的观察窗，获取所述观察窗下方的晶圆托盘与边缘环之间的边缘图像，所述边缘图像指示所述晶圆托盘到所述边缘环的相对位置；以及显示装置，连接所述若干个图像采集装置，用以放大显示所述边缘图像。